熱處理設(shè)備
南北儀器專業(yè)提供實驗室儀器設(shè)備一站式解決方案
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設(shè)備簡介：
多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，是半導體工業(yè)中應用為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W等領(lǐng)域。
配置詳情：
| 1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，降低設(shè)備功耗； 3.爐體采用雙層風冷結(jié)構(gòu)工藝，自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋； 4.燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 9.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)； | ||||||||||||
產(chǎn)品溫區(qū) | 五溫區(qū) | ||||||||||||
爐管尺寸 | ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm | ||||||||||||
工作溫度 | ≤1150℃ | ||||||||||||
加熱區(qū)選擇 (可定制） | 200mm*5 300mm*5 | ||||||||||||
升溫速率 | ≤20℃/s | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC380V 10~15KW | ||||||||||||
氣體系統(tǒng)（可選購） | 浮子或質(zhì)子 | ||||||||||||
管道示意圖 |
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進氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | ||||||||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||||||
低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-3C/NBD-4C | |||||||||||
抽氣速率 | 3L/s或4L/s | ||||||||||||
進排氣口尺寸 | KF16/25 | ||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa） | ||||||||||||
工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||||||
高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | ||||||||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | |||||||||||
真空測量計 | 復合真空計 | ||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | |||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 380V | |||||||||||
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