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高溫TMDs 沉積一體機

產(chǎn)品型號:

負(fù)責(zé)人:周貝貝

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產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡介：

該設(shè)備主要應(yīng)用于過渡金屬二硫化物材料制備。設(shè)備分兩個溫區(qū)，高溫區(qū)用于硫粉的蒸發(fā)，低溫區(qū)用于MoO3的蒸發(fā)及硫化物的沉積。適當(dāng)調(diào)整襯底和蒸發(fā)源的距離、蒸發(fā)溫區(qū)的溫度及進氣流量，可得到大面積的單層二硫化物材料。本設(shè)備仍可作為滿足實驗參數(shù)的常規(guī)CVD設(shè)備使用。

技術(shù)參數(shù)：

	1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化，使試驗方便快捷直觀。 2.配置兩路質(zhì)量流量計混氣氣路，可以單設(shè)置氣體流量。 3.PID程序多段控制，實現(xiàn)不同工藝多段溫度時間監(jiān)控。 4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料。 5.配備機械泵或分子真空泵，可以實現(xiàn)不同的真空條件。
爐體尺寸	1100mm×1250mm×750mm(寬×高×深）
剛玉管尺寸	Φ80*1000mm
主控升溫速率	建議≤10℃/min
使用溫度	1200℃以下可長期使用
控溫精度	±1℃
Z高溫度	1100℃
加熱元件	高溫合金絲
加熱功率	5KW
主控爐膛材料	高純多晶纖維復(fù)合耐火保溫層
主控爐膛模式	開啟式
密封方式	不銹鋼密封法蘭
測溫元件	K型熱電偶
加熱溫區(qū)長度	雙溫 210mm*2
操控模式	NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7英寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式；
溫度曲線設(shè)置	主加熱可預(yù)存15條溫度曲線，每條曲線可設(shè)置30段"時間—溫度曲線"，實時監(jiān)控，動態(tài)真實顯示“時間-溫度曲線”
溫度校正	主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統(tǒng)全程進行非線性修正（詢問客戶常用溫度點，做效驗）
真空泵類型	直聯(lián)旋片式真空泵（雙級旋片）
抽氣速率	4(L/s)
進排氣連接口	KF16/25（mm）
用油量	0.6～1L
電機轉(zhuǎn)速	1440（rpm）
工作環(huán)境溫度	5～40℃
噪音（dB）	≤56
真空計類型	數(shù)顯真空計
系統(tǒng)真空	3~5pa （另選配分子泵可達6.3*10-3pa）
流量計類型	2路質(zhì)量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根據(jù)客戶需求選擇流量范圍
氣路管芯	不銹鋼氣體管道（1/4"）
調(diào)節(jié)閥類型	手動調(diào)節(jié)閥
管道常態(tài)	常閉
測量精度	±1.0%F.S
精度保證溫度	15～35℃
系統(tǒng)保護	超溫報警，過流保護，斷偶提示
電氣規(guī)格	220V 50Hz 5KW
隨機產(chǎn)品配置	石英爐管1根，爐塞1套，爐鉤一只，說明書1份;隨機工具等。
控制系統(tǒng)		1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正。

實驗儀器設(shè)備

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