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NBD-T1700-80TIG3Z化學(xué)氣相沉積CVD一體機(jī)

產(chǎn)品型號(hào):NBD-T1700-80TIG3Z

負(fù)責(zé)人:周貝貝

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產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡(jiǎn)介：

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)：

		1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化，使試驗(yàn)方便快捷直觀。 2.配置浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)混氣氣路，可以單設(shè)置氣體流量。 3.PID程序多段控制，實(shí)現(xiàn)不同工藝多段溫度時(shí)間監(jiān)控。 4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料。 5.配備機(jī)械泵或分子真空泵，可以實(shí)現(xiàn)不同的真空條件。
產(chǎn)品型號(hào)		NBD-T1700-80TIG3Z
工作溫度		≤1650℃
加熱區(qū)尺寸		310mm
恒溫區(qū)尺寸		220mm
升溫速率		≤20℃/min
電氣規(guī)格		AC 220V 4.5KW
控制系統(tǒng)		1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。
氣體系統(tǒng)（可選購(gòu)）		流量計(jì)類型	浮子流量計(jì)				質(zhì)量流量計(jì)
	管道示意圖
	進(jìn)氣接口數(shù)量	2、3、4（多路可選）
	流量范圍	20-200/60-600l/min(多量程可選)				50/100/200sccm(多量程可選)
	工作壓差范圍	0-0.15MPa
低真空系統(tǒng)（可選購(gòu)）	真空泵型號(hào)		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽氣速率		1L/s		3L/s		4L/s
	進(jìn)排氣口尺寸		Φ8mm寶塔接頭		Φ8mm 寶塔接頭		KF16/25
	壓力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作溫度		5-40℃
	電氣規(guī)格		AC220V
分子泵高真空系統(tǒng) （可選購(gòu)）	分子泵系統(tǒng)型號(hào)		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽氣速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空測(cè)量計(jì)		復(fù)合真空計(jì)
	壓力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作溫度			5-40℃
	電氣規(guī)格			AC 220V	AC 220V			AC 380V

實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備

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