物性測試儀器及設(shè)備
南北儀器專業(yè)提供實驗室儀器設(shè)備一站式解決方案
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SM210 是一款利用分光干涉原理研制而成的在線膜厚度測量儀。 它利用氙燈光源發(fā)出的寬波長光線，部分經(jīng)工件表面和傳感頭內(nèi)部反射面返
回傳感頭內(nèi)部，兩道反射光束相互干涉，各波長的干涉光強度取決于反射面之間的間距，當該間距是波長的整數(shù)倍時，便達到相對干涉 借助
分光鏡將干涉光分成不同的波長，即可得出波長的光強度分布，在對該分布進行波形分析后，就可計算出反射面之間的距離。其厚度測繪范圍
可以達到 30nm-100um。SM210在線式分光干涉多層膜厚測量儀由測量傳感頭、控制器及上位機軟件搭建而成，結(jié)合算法技術(shù)。
工作原理：
當入射光進入到薄膜樣品時，薄膜內(nèi)部會發(fā)生多次反射，這些多次反射光波隨著相位差互相增強或者減弱。每個多次反射光的相位差由光波長
和光路長度決定，這種相位差使得從樣品反射或透射的光產(chǎn)生一個可反應薄膜厚度的光譜。分光干涉法是一種通過曲線擬合法或者FFT（快速
傅里葉變換）法分析光譜來測量薄膜厚度的技術(shù)，如下圖。
膜厚測量儀-SM210，其由氙燈光源發(fā)射光線，經(jīng)由Y型光纖照射到被測樣品表面，然后干涉光通過Y型光纖返回到控制器內(nèi)部的光譜儀進行光
譜分析，后通過算法準確的計算出薄膜厚度。系統(tǒng)原理見如下圖。
產(chǎn)品特征：
在線測量，檢測速度可達 1m/s。
采用氙燈光源，波段范圍廣（190nm-1100nm），發(fā)光效率高，壽命長；
從單層到多層，可實現(xiàn)穩(wěn)定性測量；
黏附層也可實現(xiàn)穩(wěn)定測量；
可測范圍廣 30nm-100um；
傳感器頭部無電路，無電磁干擾、不發(fā)熱；
小型、重量輕，安裝空間不受制約；
選取“六繞一”型 7 芯 Y 型柔性光纖既能適應產(chǎn)線上頻繁高速的運動也可以提高反射光利用率，進而提高信噪比；
軟件界面直觀，操作方便省時；
歷史數(shù)據(jù)存儲，幫助用戶掌握結(jié)果；
產(chǎn)品應用領(lǐng)域：
基本上光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測繪，這包含了電介質(zhì)和半導體材料，包括：氧化硅、氮化層、類鉆薄膜、多晶硅、光刻
膠、高分子、聚亞酰胺、非晶硅等。
半導體鍍膜：光刻膠、氧化物、淡化層、絕緣體上硅、晶片背面研磨;
液晶顯示：間隙厚度、聚酰亞胺、ITO 透明導電膜;
光學鍍膜：硬涂層、抗反射層；
微電子系統(tǒng)：光刻膠、硅系膜狀物、印刷電路板；
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