物性測試儀器及設備
南北儀器專業(yè)提供實驗室儀器設備一站式解決方案
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綜合概述：
SM230是一款利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自動薄膜厚度測繪儀。 它利用波長范圍寬為200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要
薄膜有一定程度的透射，SM230就能根據(jù)反射回來的干涉光譜擬合計算出薄膜的厚度，以及其他光學常數(shù)如反射率、折射率和消光系數(shù)等，
其厚度測繪范圍可以達到5nm~250um。
SM230自動光學薄膜厚度測繪儀由測繪主機、測繪平臺、Y型光纖及上位機軟件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀和高精度
的旋轉平臺，結合算法技術，為用戶提供自動光學薄膜厚度測繪儀。
產(chǎn)品特征：
非接觸式、非破壞性的測試系統(tǒng)；
長壽命光源，有高的發(fā)光效率；
高分辨率、高靈敏度光譜儀，測繪結果準確可靠；
軟件界面直觀，操作方便省時；
測繪速度快，支持多點測繪點位地圖繪制；
支持繪制樣品2D/3D厚度分布圖；
高精度、長壽命的3軸旋轉平臺；
歷史數(shù)據(jù)存儲，幫助用戶掌握結果；
桌面式分布設計，適用場景豐富；
維護成本低，保養(yǎng)方便；
應用領域：
基本上光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測繪，這包含了電介質和半導體材料，包括：氧化硅、氮化層、類鉆薄膜、多晶硅、光刻
膠、高分子、聚亞酰胺、非晶硅等。
半導體鍍膜：光刻膠、氧化物、淡化層、絕緣體上硅、晶片背面研磨;
液晶顯示：間隙厚度、聚酰亞胺、ITO透明導電膜;
光學鍍膜：硬涂層、抗反射層；
微電子系統(tǒng)：光刻膠、硅系膜狀物、印刷電路板；
生物學：設備、Parylene
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