BACK

EX3 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

產(chǎn)品型號(hào):EX3

負(fù)責(zé)人:趙德廠

QQ:1835050279

手機(jī):13523060866

在線留言 400-098-6966

產(chǎn)品詳情

EX3自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）測(cè)量原理，針對(duì)納米薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測(cè)量型教學(xué)儀器。與EM22儀器相比，該儀器采用半導(dǎo)體激光器作為光源，穩(wěn)定性好，體積更小。
EX3儀器適用于納米薄膜的厚度測(cè)量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測(cè)量。
EX3儀器還可用于同時(shí)測(cè)量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。
特點(diǎn):
經(jīng)典消光法橢偏測(cè)量原理
儀器采用消光法橢偏測(cè)量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測(cè)量基本原理和過程。
方便安全的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。
緊湊的一體化結(jié)構(gòu)
集成一體化設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)潔的儀器外形通過USB接口與計(jì)算機(jī)相連，方便儀器使用。
高穩(wěn)定性光源
采用半導(dǎo)體激光器作為探測(cè)光的光源，穩(wěn)定性高，噪聲低。
豐富實(shí)用的樣品測(cè)量功能
可測(cè)量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復(fù)折射率等。
便捷的自動(dòng)化操作
儀器軟件可自動(dòng)完成樣品測(cè)量，并可進(jìn)行方便的測(cè)量數(shù)據(jù)分析、儀器校準(zhǔn)等操作。
安全的用戶使用權(quán)限管理
軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。
可擴(kuò)展的儀器功能
利用本儀器，可通過適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測(cè)量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測(cè)量實(shí)、旋光等。
應(yīng)用領(lǐng)域:
EX3適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測(cè)量，也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。
EX3可測(cè)量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。
技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
儀器型號(hào)	EX3
測(cè)量方式	自動(dòng)測(cè)量
樣品放置方式	水平放置
光源	半導(dǎo)體激光器，波長635nm
膜厚測(cè)量重復(fù)性*	0.5nm (對(duì)于Si基底上100nm的SiO2膜層)
膜厚范圍	透明薄膜：1-4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān)
折射率范圍	1.3 – 10
探測(cè)光束直徑	Φ2-3mm
入射角度	30°-90°，精度0.05°
偏振器方位角讀數(shù)范圍	0-360°
偏振器步進(jìn)角	0.014°
樣品方位調(diào)整	Z軸高度調(diào)節(jié)：16mm 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
允許樣品尺寸	圓形樣品直徑Φ120mm，矩形樣品可達(dá)120mm x 160mm
配套軟件	* 用戶權(quán)限設(shè)置 * 多種測(cè)量模式選擇 * 多個(gè)測(cè)量項(xiàng)目選擇 * 方便的數(shù)據(jù)分析、計(jì)算、輸入輸出
外形尺寸	（入射角度70°時(shí)）450375260mm
儀器重量（凈重）	15Kg

光學(xué)儀器設(shè)備

產(chǎn)品推薦

EX3 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

產(chǎn)品詳情

您可以通過在線留言聯(lián)系我們:

相關(guān)產(chǎn)品

ES01快速攝譜式自動(dòng)變角度光譜橢偏儀

ESS03波長掃描式多入射角光譜橢偏儀

VP02 真空吸附泵

EX3 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

關(guān)于我們

南北儀器