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HTS-100型四探針溫控測(cè)試系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):HTS-100

負(fù)責(zé)人:張雅麗

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HTS-100型四探針溫控測(cè)試系統(tǒng)

測(cè)試樣品電阻率、方塊電阻、電阻在不同溫度時(shí)的數(shù)值，并繪出數(shù)值隨溫度變化的曲線；

當(dāng)不使用溫控功能測(cè)試時(shí)，可用作常規(guī)四探針測(cè)試；

HTS-100型四探針溫控測(cè)試系統(tǒng)主要用于材料在不同溫度時(shí)導(dǎo)電性能的評(píng)估和測(cè)試，分析被測(cè)樣品電阻率、方塊電阻、電阻隨溫度變化的數(shù)據(jù)和曲線。該儀器運(yùn)用四探針測(cè)量原理，按照四探針測(cè)試方法的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的。

儀器由四探針測(cè)試儀、溫控系統(tǒng)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

儀器采用了z新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)材料的電阻性能測(cè)試。

HTS-100型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。

測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

HTS-100_software_w780_副本.jpg

技　術(shù)　指　標(biāo) ：

測(cè)量范圍	電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；電阻：10-5～105 Ω；
溫控范圍	常溫～100℃(可擴(kuò)展)
溫控精度	±1℃
恒流源	電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；
四探針探頭基本指標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%
整機(jī)測(cè)量z大相對(duì)誤差	(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤4%
測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)和方式	可選用單電測(cè)測(cè)試方法或雙電測(cè)測(cè)試方法兩種方法進(jìn)行溫控測(cè)試，當(dāng)不使用溫控功能測(cè)試時(shí)，可用作常規(guī)四探針測(cè)試。
軟件功能	軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)z大值、z小值、平均值、z大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成隨溫度變化的曲線圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	無高頻干擾；無強(qiáng)光直射；

儀器儀表

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