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產(chǎn)品型號:SZT-C
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SZT-C快速恒壓四探針測試儀測試臺
一 、功能與結(jié)構(gòu)特征概述
基本功能:SZT-C型四探針測試臺,是用來裝夾四探針探頭,連接四探針測試儀器,放置樣品,進(jìn)行手動(dòng)方式測試的機(jī)具。是四探針法測試電阻率/方塊電阻(方阻)儀器的配套測量裝置(以下簡稱測試臺)。
基本組成:主要有載物臺(180mmX180mm凈載物面積)、雙軌垂直導(dǎo)向單元、測試壓力調(diào)節(jié)單元、探頭快速升降扳手(頂部戴紅套部分)、探頭連接板等單元。
配套與兼容:本測試臺可選配本公司suo有型號的四探針測試探頭,包括鎢針?biāo)奶结樚筋^(測試硬質(zhì)樣品用),鍍金合金探頭(測試柔性薄膜或涂層方阻zhuan用);本測試臺兼容本公司suo有四探針測試儀器。本測試臺加配本公司探頭,可兼容國內(nèi)同行絕大多數(shù)四探針電阻率/方阻測試儀器。
二、可測半導(dǎo)體材料尺寸 (探頭手持方式不限)
直徑或邊長:SZT-C測試臺直接測試方式 Φ15~180mm,或180mm×180mm。
長(或高)度: 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
三 、使用方法